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Ceramist 2001;4(1):14-25.
Published online February 28, 2001.

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구리반도체용 저유전재료의 신뢰성 평가

차국헌¹, 주상현¹, 주영창²

¹서울대학교 응용화학부
²서울대학교 재료공학부

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