TEM Study on the Structural and Electrical Features of Grain Boundaries in Semiconducting Oxides

Review

Ceramist 2007;10(5):49-54.
Published online October 31, 2007.

¹Department of Materials Science and Engineering, Inha University
²
³Semiconductor Business, Samsung Electronics

TEM을 이용한 산화물 반도체 입계의 구조 및 전기적 특성 평가

문선민¹, 조남희, 박명범³

¹인하대학교 대학원
²인하대학교 공과대학
³삼성전자 반도체총괄 메모리사업부

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