Review

Ceramist 2009;12(1):33-48.
Published online February 28, 2009.

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반도체 제조 공정용 SiC 소재 기술

조경선¹, 윤성호¹, 정훈¹, 채수호², 임광영², 김영욱², 박상환¹

¹한국과학기술연구원 재료연구기술본부
²서울시립대학교 신소재공학과

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